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取扱製品

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t_t_01

片面ラッピング装置・ポリッシング装置
両面ラッピング装置・ポリッシング装置
ハードポリッシング装置・ソフトポリッシング装置
CMP装置

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立型・横型精密研削盤
立軸・横軸ロータリー研削盤
両頭平面研削盤
円筒研削盤
面取機

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ラッピング装置・ポリッシング装置
研削、切断装置
(平面・ロータリー・スライサー・
ワイヤーソー)
半導体製造装置・化学機械装置
工作機全般・測定器
電気炉・真空炉

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キャリア
オイル
研磨材・化学研磨材
研磨クロス・研磨テープ
定盤
セグメント・リテーナーリング
修正キャリア
ポンプ類

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クリーンルーム
ドラフトチャンバー
クリーンブース
クリーンベンチ
ルーム内メンテ及び改善、測定

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クリーン手袋・クリーンウェア
ワイパー
清掃用品
クリーンツーム用備品・機器
滅菌済商品
静電対策用品

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ホースポンプ・チューブポンプ・
チューブポンプ充填機
ロータリーポンプ・サニタリーポンプ

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水系洗浄乾燥システム
流水式洗浄システム
スクラブ洗浄
精密洗浄装置

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大型研磨機
ガラス基板用端面加工機
面取機
全自動芯取機
切断機

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超精密スライサー
ワイヤーソー
精密多刃切断機
ダイサー

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超純水製造装置
純水装置
排水処理装置
濾過装置
イオン交換樹脂

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半導体製造装置
スパッタリング装置
ドライエッチング装置
プラズマCVD装置

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加工周辺機器自動化
クリーン搬送システム

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エアーフィルター
水系フィルター
油水分離装置

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平面・内面・曲面・端面・円筒

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冷凍チャックシステム*常温による冷凍接着法

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加湿器(クリーンウェッター)

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フィルム・紙 高速打ち抜き機

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ウェハー〜大型ガラス基板・容器・異形物

小部品〜大型部品まで

無電極ランプ
LED

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シリコンウェハー・化合物ウェハー
化合物ウェハー・カーボンウェハー
サファイア・石英加工
高純度金属材料

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治具・部品・カバー等
フッ素樹脂・エンプラ・PEEK・塩ビ・
ナイロン他

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